Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование (Киреев Валерий Юрьевич); ИД Интеллект, 2016

В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления.
Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов.
Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников.

Развернуть фото

Смотри также о книге.

Основные характеристики товара

Параметр	Значение
ISBN	978-5-91559-215-4
Автор(ы)	Киреев Валерий Юрьевич
Вес	0.52кг
Возрастные ограничения	12
Год издания	2016
Издатель	ИД Интеллект
Кол-во страниц	320
Количество страниц	320
Переплет	Твердая глянцевая
Переплёт	твердый
Раздел	Радиоэлектроника
Размеры	14,50 см × 21,60 см × 2,00 см
Страниц	320
Тематика	Автоматика. Телемеханика
Формат	145x216мм