Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники (В. Ю. Васильев); Новосибирский государственный технический университет, 2019

156

Издатель: Новосибирский государственный технический университет
ISBN: 978-5-7782-3915-9
EAN: 9785778239159
Книги: учебники и пособия для вузов
ID: 14152060
Добавлено: 13.01.2024

Рейтинг:

(0/5)

Описание

Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены результаты исследований, начатых в 1970-х годах в Институте физики полупроводников Академии наук СССР и исследовательских отделах предприятий электронной промышленности г. Новосибирска. Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с методологией и технологией получения высококачественных ТП для изделий микроэлектроники, показана возрастающая роль ТП технологий в технологических маршрутах изготовления изделий, рассмотрены тенденции развития, типы и характеристики оборудования для процессов производства ИМС, технологические процессы получения различных ТП материалов на основе кремния, свойства ТП материалов. Учебное пособие разработано в соответствии с рабочей программой учебной дисциплины «Семинары по специальности», образовательная программа: 11.04.04. «Электроника и наноэлектроника», магистерская программа «Микро- и наноэлектроника». Рекомендуется также для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 («Электроника и наноэлектроника»), 28.03.01 и 28.04.01 («Нанотехнологии и микросистемная техника») в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Также рекомендуется для аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», представляет интерес для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.

Развернуть фото

Смотри также о книге.

СкидкаГИД инфо +

Сервис сравнения цен СкидкаГИД предлагает сравнить цены на товар «Книга: Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники (В. Ю. Васильев); Новосибирский государственный технический университет, 2019»

По данным нашего сервиса товар предлагался к продаже в 1 магазине. На сегодняшний день доступен в 1 магазине: ЛитРес. По цене от 156 р. до 156 р. В случае, если для вас на данный момент цена слишком высока, вы можете воспользоваться сервисом «Сообщить о снижении цены» - мы оповестим вас как только цена опустится до желаемого значения. Но будьте внимательны, используя сервис «История цены» можно спрогнозировать в какую сторону изменяется цена, возможно сейчас самое время для покупки.

Кроме сервиса сравнеция цен, наш сайт также позволяет экономить еще двумя способами: промокодный сервис (информация о промокодах, а также скидки и акции на товары), а также собственный кэшбэк сервис. Купить с кешбеком можно в следующих магазинах: ЛитРес. А информация о промокодах доступна рядом с ценой от магазина и постоянно обновляется.

О книге

Основные характеристики товара
Параметр	Значение
ISBN	978-5-7782-3915-9
Автор(ы)	В. Ю. Васильев
Год издания	2019
Издатель	Новосибирский государственный технический университет
Форматы электронной версии	PDF

Где купить (1)

Как купить или где мы находимся +

Цена от 156 руб до 156 руб в 1 магазине

Также рекомендуем ознакомиться с ценами на Яндекс.Маркет.

сообщить о снижении цены

Книга: Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники (В. Ю. Васильев); Новосибирский государственный технический университет, 2019
Магазин	Цена	Наличие
ЛитРес 5/5 ООО «Литрес» ИНН: 7719571260	156 Электронная книга Кэшбэк до 6.9% история цены +20.5%	обновлено 15.08.2025

Яндекс.Маркет 5/5 ООО "ЯНДЕКС" ИНН: 7736207543	Кэшбэк до 3.8% Промокоды на скидку

Кэшбэк сервис СкидкаГИД

На сегодняшний день товар «Книга: Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники (В. Ю. Васильев); Новосибирский государственный технический университет, 2019» можно купить с кешбеком в 1 магазине: ЛитРес

Кэшбэк – это возврат части денег, потраченных Вами в интернет-магазинах. Всего на нашем сайте более 500 магазинов, с многими из которых Вы наверняка уже знакомы. У каждого магазина свои условия. Кто-то возвращает процент от покупки, а кто-то фиксированную сумму.

Заказывайте он-лайн и получайте часть денег обратно, подробнее..